ADE корпорации, фирмы Si исследований Разработка 0,10-микронный процесс метрологии

WESTWOOD, штат Массачусетс основе ADE Корпорация объявила на прошлой неделе, что, как часть 3 года программе развития компании с Super кристаллов кремния научно-исследовательского института корпорации (SSI), ADE выпустила система способна обнаруживать 40-нанометровых частиц. края сцепление ADE в системе обработки, который позволяет измерять 200мм, 300мм, и 400mm вафли, по данным компании, включает в собственной Расширенный вафельных Система контроля (Awis) технологии.

В соответствии с SSI, досмотровое оборудование ADE встретились всех целей, поставленных в его трехлетней исследовательской программы предназначены для 0,10-микронной технологии. Компания говорит, что надеется, что ее исследование будет стимулировать ADE корпорации начать массовое производство 200 мм и 300 мм пластины-способных оборудование для 0,10-микронной технологии производства к 2005 году.