NuTool представляет ECMD Инструмент
Электрохимическое осаждение механических дебютов
Чиба, Япония-NuTool Инк обнародовал свой последний инструмент и технологии для осаждения меди в Японии полупроводников, объявив, что он готов к производству. Хотя разные мнения о его целесообразности, он, безусловно, накопленный интерес со стороны промышленности по обе стороны Тихого океана.
"Мы готовы удовлетворить спрос клиентов на технологию ECMD", говорит Бюлент Basol, вице-президент процессы и технологии для NuTool, ссылаясь на электрохимических компании механического осаждения (ECMD) инструмента и техники. Объявление идет по пятам объявления на прошлой неделе, что крупнейший производитель инструмента Японии Tokyo Electron ООО (TEL), будет обращение продаж и технической поддержки для NuTool.
NuTool сказал своей запатентованной технологии решает проблемы, которые происходят с осаждения меди, такие как чрезмерная-наращивания меди более мелкими чертами лица, - и меры, которые происходят на больших возможностей. Технология сокращает время и, возможно, польский dishing и эрозии, Милпитас, Калифорния основе NuTool утверждал.
Basol пояснил, что в качестве инструмента месторождений слоем меди, панель находится в непосредственном контакте с пластин, а это, в сочетании с химический процесс, в NuTool, позволяет дифференциальных меди темпы роста между меди на поверхности пластин и медь на хранение в функцию. Скорость, давление и механические путь площадки могут быть контролируется с помощью программного обеспечения. Типичное применение занимает около 3 минут на пластине, в соответствии с Basol.
Basol признал, что в худшем случае с использованием технологии NuTool в меди, нанесенной на поверхность пластины составляет всего 30 процентов от скорости осаждения меди в функцию или отношение 3, но компания продемонстрировала, что коэффициент может быть как 10, Basol сказал. В данном случае семян слоя 1500 ангстрем толстые и поверхности пластины или поле слоя 6800 ангстрем толстые, а функция толщины 48000 ангстрем.
Он представил после химико-механического планаризация данных от клиента, который продемонстрировал осаждения в 3,5-микронной глубокие особенности, которые были 0,8 и 0,1 микрон широкий, не dishing или эрозии. Клиент смог завершить осаждения только один шаг полировки, Basol сказал. Клиент данные показали, что дальнейшее ECMD меди крупных зерен и низким сопротивлением, NuTool сказал.
Только время покажет, будут ли технологии NuTool получат возможность для решения проблем, присущих при нанесении меди в производственной среде. Но Дин Фримен, главный аналитик GartnerGroup Инк 'ы Dataquest подразделения в Сан-Хосе, предложил, что партнерство TEL с начала деятельности является большой вотум доверия. NuTool данных, представленных в ходе полупроводников был очень убедительным и технологий компании, как представляется, за его содержание маркетинга.
Что же касается TEL выйдет из новых отношений с NuTool, Тецуро Хигаси, президент компании и главный исполнительный директор, сказал, что японский гигант капитального оборудования, планирует использовать инженерно-технический опыт в NuTool.
Имея до недавнего времени сосредоточены на DRAM технологии, Япония отстает от США в технологический процесс соединения, объяснил он, и TEL не хотите, чтобы попытаться выйти на этот рынок с технологией, что просто дублировали существующие конкуренты уже предлагают. "Для того чтобы проникнуть в этот рынок, мы нужны уникальные технологии", сказал Хигаси.
"Мы считаем, что система NuTool очень важно и будет способствовать много на рынке," сказал он.
Другие представители отрасли не слишком уверены, однако. Saket Chadda, главный технический директор компании по СС SpeedFam-ИПЕК Инк, Чандлер, штат Аризона, предложил, что объединение процесс электрохимического осаждения с той или иной форме механической активности на пластины аналогичных по своему характеру СС и что соединение эффекты иметь катастрофические последствия. Он добавил, что не означает, что проблемы не могут быть решены.
Но ECMD это технология, которая до сих пор не доказано, сказал он, отметив, что научно-исследовательского подразделения в рамках его компания изучает технологии. "Мы считаем, что решение для производства ECMD далеко."
Avnet AAC и Motorola Рич Китая соглашение
Avant! Президент, Exec Предложение Команда заверения
SiS движется вперед с P4 микросхем DDR
Наставник "Арсенала Загрузка Программируемая логика
Semiconductor продаж Улучшение Последовательно
Электронная промышленность является мелочных
Intel откроет Малайзии Центр дизайна
ARM представляет IP карты памяти
CMOS против КБО: Battle Rages On
