Semitool получил патент на повышение медных затравочных слоя

Калиспелл, Монтана ОСНОВЕ SEMITOOL вкл., получил патент на медных затравочных слоев осаждения, что он говорит, можно уменьшить свес, что результаты из толстого физическое осаждение паров (PVD) слоев за счет уменьшения толщины слоя до 75 процентов. Компания (NASDAQ: SMTL) говорит, что процесс будет идеальным для разработки правил ниже 0,1 мкм.

Растворитель PVD семян слоев менее 1000 А, повышается за счет процесса Semitool, что привело к форме, конформные слой зерна, что обеспечивает более высокое соединения урожайности и повышения производительности устройства, Semitool сказал. запатентованных семян слоя повышение Semitool технология в настоящее время развернуты на нескольких площадках полупроводниковых во всем мире, утверждает компания. Запатентованный процесс проводится в рамках комплексных линейных платформы Semitool в инструментальных средств для полупроводниковой фабрики, наряду с другими процессами, такими как электрохимического осаждения, очистки и отжига.