Группа ОЭЗ дисциплины вафельных ООО Партнер и 300-миллиметровые вафельных очистки инструментов

ОЭЗ GROUP Филлах, Австрия, объединяется с чисто вафельных ООО разработать инструменты, которые будут выполнять двусторонние пластины уборка 300-мм подложек использованием спин-технологического процесса в ОЭЗ. Компании сказал, что это первые оценки технологии для 300 мм. Как часть сделки, а чистая вафли, поставщик мелиорированных пластины кремния, я буду получать 1-камерный инструмент бета-оценки, которая включает в себя ту же технологию использовали в 4-камеры Спин-процессор 8300.

Чистая вафельных будет оценивать аппаратные бета-инструмента, производительность процесса, эффективность очистки и производства ценность для очистки, а также компании, добавив, что соглашение может быть расширено для других процессов в будущем. Созданная в августе, а чистая вафли, Суонси, Уэльс, начнется полномасштабное производство в июле на совместном объекта 200mm/300mm компании.