JMAR планирует закупить рентгеновское Лихо компании

Сан-Диего JMAR технологий Инк недавно подписал письмо о намерениях приобрести Вермонт основе Semiconductor Расширенный Литография Инк (SAL), производитель рентгеновских систем литографии степпера. Благодаря интеграции JMAR (NASDAQ: JMAR) лазерного излучения с плазмой источников рентгеновского излучения с помощью рентгеновских шаговые SAL и других вспомогательных технологий, JMAR рассчитывает создать новый JMAR / SAL инструмент литографии, которые будут предлагать высокоскоростной galliumarsenide чипов возможность XRL обработки перед В конце 2002 года.

JMAR также отметил, что новый инструмент позволит более доступным к югу от 0,13-микронный техпроцесс раньше других стандартных оптических lithogaphy альтернатив, таких, как экстремальный ультрафиолет, готовы к производству.