Рудольф Предложения 2G Инструменты тонкопленочных измерения
С глаз на ADVANCED ВОРОТА, медь, LOW-K ОБРАБОТКИ и 300-мм подложек, а также связанных с этим технических проблем, таких как измерение ультратонких суб-2нм фильмов и многослойной пленки трубы на верхних этажах многоуровневой структуры соединения, Рудольф Technologies Inc . представила 2G измерения тонкопленочных инструменты сегодня.
Фландрия, NJ-компания (NASDAQ: RTEC) говорит, ее металла и прозрачные инструменты фильм будет соответствовать требованиям "дорожной карты" метрологии ИТРС до 2005 года. Оба Мета-PULSE рук S-ультра инструменты на базе модульных Рудольфа измерения.