Infineon Печать 0,05 микрон черты с 0,25-микронной Технология

Мюнхен, Германия ОСНОВЕ Infineon Technologies AG выпустила 0,04-микронный до 0,05 микрон металлические тросы, встроенные в пазы в диэлектрической пленке с использованием традиционных методов производства на своей мюнхенской корпоративным исследованиям Labs. Infineon использовать прокладку техника для сужения отверстия маски для передачи картины в диэлектрической пленке.

Пластин, используемых для демонстрации были обработаны стандартными производственного оборудования и процессов, разработанных для 0,25-микронных размеров особенность в Международном Sematech в Остине. Электрические оценки этих проводов проверить достаточно низким электрическим сопротивлением для всех соответствующих длин проводов. Этот подвиг свидетельствует о том, что ни изготовления таких линий, ни электрического сопротивления будет технических препятствий, как чипов уменьшаться, немецкий чипов сказал. Компания предлагает настоящий технологический процесс может быть продлен возможно, до середины следующего десятилетия. Кроме того, он демонстрирует, расширяемости Дамаскина, техника для металлизации, Infineon сб идентификатор.