Рудольф дебютов 2G Инструменты
Непрозрачные тонкопленочных инструменты включают эллипсометра
Рудольф технологий Инк представила 2G метрологии тонкопленочных инструментов на прошлой неделе, S200/300-ultra для прозрачных пленок, а также MetaPulse II для непрозрачных фильмов, которые отвечают требованиям "дорожной карты" метрологии ИТРС через середину десятилетия, согласно компании.
Фландрия, NJ-компания (NASDAQ: RTEC) имеет свой взгляд на передовых ворот, медь, низкой к обработке и 300-мм подложек, а также связанных с этим технических проблем, таких как измерение ультратонких, суб-2нм фильмов и многослойные пленки на стеки верхних уровней многоуровневой структуры соединения.
"Похоже, они идут в правильном направлении", сказал Ристо Puhakka, вице-президент Сан-Хосе исследовательской компании VLSI Research инк
Известная своей ellipsometers, что именно эта фирменная технология лазерной эллипсометрии том, что Рудольф говорит, дает ему преимущество в измерении прозрачных пленок, таких как оксиды, связанных с транзисторами и изоляционных слоев. "Наши патенты в этой области дают нам высокие повторяемости и высокая пропускная способность пластины на тонких пленках, сказал Джордж Коллинз, директор Рудольф по маркетингу.
Хотя Рудольф № 3 компании в вафельных метрологии рынка за лидером ОАК Tencor корпорации и Терма-волна Инк Рудольф около $ 84 млн из $ 560 млн рынка, по данным VLSI Research. Хотя все три пользовались поразительной темпы роста в последнее время, если смотреть строго на тонкопленочных метрологии сектора, Рудольф пользуется наибольший рост, по мнению Коллинза. Компания имеет установленную базу около 500 эллипсометра основе прозрачных инструментов фильма и около 100 его ультразвуковой гидролокатор лазерной основе непрозрачных инструментов фильма.
S-ультра инструмент, который поставляется в 200 мм и 300mm версии, имеет новый дизайн, многоволновые длины эллипсометра, который может измерять толщины пленок под слоя поликремния, а также различие между пленкой слоя, слоя поликремния и загрязняющих веществ, которые могут конденсироваться на пластины после ее ухода осаждения инструмент. "Это по-настоящему решить эту проблему, которая была определена в дорожной карты", говорит Коллинз. "Мы считаем, что это реальный технологический шаг вперед".
Как и его предшественник, S-ультра принимает измерений на небольшой площади продукт пластины, в отличие от монитора пластин.
Основные изменения в сетях 2G инструмент Рудольфа металл-пленка-метрология, MetaPulse II, а также 300mm-пластины способны, является возможность добавления прозрачной тонкой пленки-измерительного модуля, а-ля S-ультра. Большие изменения в измерении металлических пленок с момента его первого поколения был представлен инструмент три с половиной года назад, меди и связанные с прослойкой диэлектрических пленок, Коллинз отметил.
Использование барьерных пленок для обволакивают медных и интегрировать их в то время как сохранить их от загрязнения транзисторов в других слоев чипа вводятся в обращение новые проблемы для производства полупроводников. Таким образом, идея предложить прозрачные модуля тонкопленочных для MetaPulse II, экономия за счет клиентов и площадью второй, независимой единицы, говорит Коллинз. "Мы очень рады, об этом и очень хотел бы начать эти продукты", добавил он.
Будущего поколения прозрачной пленки-метрологический инструмент, скорее всего, предложить металл-пленка-измерительного модуля, а также. Хотя металлических ворот и оксидов металлов еще несколько лет, предлагая MetaPulse модуля в S-ультра платформа является частью долгосрочной стратегии компании. Рудольф уже ведет переговоры с клиентами о бета-тестирование таким инструментом.
Puhakka VLSI сказал инструмент MetaPulse II с прозрачной тонкой пленки модуль что-то уникальное Рудольф. "Это то, что я не слышал раньше, и он заслуживает дальнейшего изучения", сказал он.
Но Рудольф знает, что работает не в вакууме. "Я буду хотелось увидеть, что наши конкуренты вышли с", сказал Коллинс. "Я люблю соревнования. Я надеялся, что они придумали решения тоже.
"Я уверен, ОАК и Терма-волна известно об этих проблемах и работаем над ними", добавил Puhakka.
Рудольф ждет, чтобы ее новые инструменты метрологии распоряжение корабль в конце третьего квартала и не позднее, чем в четвертом квартале. S-ультра инструмент стоит примерно $ 450000 до $ 750000, в зависимости от его конфигурации. MetaPulse II стоит от $ 900000 и $ 1,5 миллиона человек.
