СОД против сердечно-сосудистых заболеваний битва продолжается
В центре внимания стран с низким уровнем А фильм конкурс может быть переход от подхода, который может доставить к низким значение, какой подход является наиболее дешевым и технически осуществимым.
Мальборо, штат Массачусетс основе Шипли компания "на прошлой неделе вступил с низким уровнем А бой с Циркон, спин-на диэлектрические (СОД) пленки с контролируемой величины К от 2,6 до 2,0 ниже, сообщает компания.
Циркон серии ЛК СОД фильмов использовать собственные химии в форме поры диэлектрических полимерных, Nanogen. Полимерных Nanogen создан для точного определения размеров пор менее 5 нм, в зависимости от Shipley, дочерняя компания специальных химикатов Rohm и Ханс Ко, Филадельфия.
Trikon технологий Инк на прошлой неделе также сделал объявление низким А фильм, представляя "Орион", органосиликатных семьи с низким А диэлектрических пленок направлены к югу от 0,10 микрон меди Дамаскин процессов. Ньюпорт, Уэльс основе Trikon (NASDAQ: TRKN) первый развитых Орион АК значение 2,8, а вместе с его промышленными партнерами, включил его в 0,13-микронного двойного Дамаскин устройств меди, а затем на его ак значение 2,5, сказал Энди Нокс, CVD сбыт продукции Trikon менеджер. Компания продемонстрировала А значения между 2,2 и 2,0 с Ориона в лаборатории на Международной Sematech, сказал он.
"Мы встретились наша цель и достигла низкого значения К лучших спин-на процессы с материалом сердечно-сосудистых заболеваний, который интегрируется с существующими Etch, полосы или ленты и устанавливает СС техники", сказал Найджел Уилер, главный исполнительный директор Trikon, в заявлении.
В этом и заключается, казалось бы, новые битвы, в отличие от какой тип пленки можно достичь низкого значения Ъ. Сердечно-сосудистых заболеваний сторонники утверждают, что они могут предоставить более к значение для доллара.
Как правило, интеграция на спин-пленок требует больше слоев, и, следовательно, больше шагов процесса, чем сердечно-сосудистых заболеваний фильмов. Некоторые методы СОД интеграция требуют 2 hardmask слоев, которые требуют использования инструментов сердечно-сосудистых заболеваний и мерах, в дополнение к спин-для нанесения покрытий. Тогда СОД необходимо вылечить, добавив еще один шаг и инструмента, а таких фильмов, как Applied Materials Инк 'ы сердечно-сосудистых заболеваний барьерных пленок нет.
"Некоторые из наших клиентов считает, что стоимость владения спин-на основном, выходцами из самого химического вещества, а не (из списка)" точки зрения капитальных затрат ", сказала Мегги Gotuaco, CVD низким А фильм прикладной глобальный менеджер по продукции. "Это действительно сочетание".
Принимая СОД подход может стоить до 3 раза больше, чем сердечно-сосудистых заболеваний, в соответствии с Санта-Клара, Калифорния основе прикладной (NASDAQ: АМАТ).
"Задать вопрос, является то, что единственный способ добиться того, чего мы пытаемся делать?", А ответ: "Нет," сказал Ральф Батлер, ссылаясь на двойного hardmask техники. Батлер продукт менеджер по маркетингу современных материалов низкого А для Tokyo Electron Америки, американское подразделение Tokyo Electron. Батлер также отметил, что в некоторых случаях, лечение фильм СОД может быть сделано на спин-Coater инструмент, а не в отдельной печи.
"Если бы не было большого разрыва в стоимости, без каких-либо выгод производительности, никто не будет выбирать СОД ... так Есть люди, которые знают, как сделать стоимость номера работать на них", сказал Батлер. "У нас есть пути, чтобы конкурировать на основе стоимости с ССЗ материалов".
Одно обе стороны могут договориться о том, что с низким уровнем интеграции А вопрос далеко не решен либо лагере, и, хотя цена может быть фактором, протягивая к низким значениям - где СОД фильмов по-прежнему имеют преимущество - по-прежнему в центре обсуждения.
