Данными в компании Axcelis выпускает 26 Инструмент Газа
FusionES3i инструмент сканирует в режиме реального времени плазмы настройки
Данными в компании Axcelis технологий Инк надеется вернуть себе свою историческую господство в сухом рынке полосы с FusionES3i, второе поколение 300mm Ашер плазмы выкатили на прошлой неделе.
"Особенно в 300mm ... мы чувствуем, что получат существенную долю рынка,-сказал Джон Трейси, Fusion менеджера. Построенный на той же платформе, его первого поколения 300mm инструмент, FusionES3i будет выполнять объемных полосы, расширенный удаления полимера и полное сухой чистой обрабатывает все в той же камере, в соответствии с Беверли, штат Массачусетс основе данными в компании Axcelis (NASDAQ: ACL). Это делает его идеальным для меди и связанных с ними процессов в функции к югу от 0,18 микрон устройство, сообщает компания.
Компания увеличила мощность его вниз по течению источником плазмы в микроволновом диапазоне в 4 кВт, включены в режиме реального времени автонастройки плазменного источника. "Мы можем оптимизировать микроволновой связи для газов для создания плазмы, что идеально подходит для процесса", сказал Трейси.
В отличие от внешней сети или подсистемы, используемые для работы генерации плазмы, данными в компании Axcelis придерживается иного подхода. "Мы на самом деле сделать это, работающих в частности режиме генерации плазмы ... в чем физический размер и сопротивление, и зону, в которой плазма создается меняется", пояснил он. "Это значит, мы можем оптимизировать для создания плазмы высокое или низкое напряжение или изменения в составе газа", добавил он, особенность, которая снижает изменчивость процесса между пластин.
FusionES3i также имеет независимо управляемых РФ ионов оказания помощи и модульных замков нагрузки форкамеры. Новая конструкция пластины перегородка позволяет ES3i работать с или без помощи ионов, что позволяет ионов оказания помощи, которые будут использоваться лишь часть процесса, говорит Трейси.
В дополнение к увеличению числа шагов процесса, что может иметь место в той или иной камеры, новые Ашер имеет пропускную способность 180 пластин в час выполнения объемных полосы процессов, более чем на 60 процентов по сравнению с нынешней ES3. Обновленный инструмент золы составляет более 8 микрон в минуту, 45-процентное улучшение.
FusionES3i имеет тот же след, как ее передних бегуна, и имеет обратную совместимость, принимая 200mm пластин, а.
Хотя данными в компании Axcelis является самым старым игроком в сухой очистки пластин бизнесе, № 3 игрока за Мэттсон технологии Инк и Gasonics, который был куплен Сан-Хосе, основанные Novellus Systems, Inc в начале этого года. Fremont, Калифорния основе Мэттсон (NASDAQ: MTSN) является лидером на рынке с 28 процентов рынка сухих полосы в 2000 году, превысил 495 млн. долларов. Gasonics не далеко позади с 24 проц. Данными в компании Axcelis было 7 процентов рынка в прошлом году.
"В принципе снятия покрытий и очистки становится достаточно важной частью этого процесса", отметил Ристо Puhakka, вице-президент Сан-Хосе, основанные VLSI Research загрязнения Инк частиц и удаление доказали, что они неотъемлемая часть текущих переходов технологии, а также уборка havae требования стали более жесткими. "Вот где доля рынка выиграл и проиграл, сказал он.
С Gasonics теперь часть гораздо больше Novellus (NASDAQ: NVLS) и Мэттсон, имеющих почти в три раза по размеру в компании через слияния трех в прошлом году, в том числе добавление влажной очистки разделения в свои ряды, данными в компании Axcelis сталкивается с жесткой конкуренцией на рынке.
