ОАК Tencor разрабатывает вафельных-стресс инструмент управления

ОАК Tencor Корпорация ввела ВАРИАНТ ЕГО ASET-F5x тонкопленочных инструмент измерения, что меры, лук и вафельные пластины напряжения 300-миллиметровые подложки. Сан - Хосе основе ОАК Tencor (NASDAQ: Клак) говорит, учитывая эти две возможности в рамках единой платформы позволит чипов сократить свои капитальные затраты и высвободить площадь в своих фабрик.

вафельных лук компании пластины напряжения опция позволяет клиентам использовать тот же рецепт для толщины пленки и стресс измерений в процессе установки, значительно улучшая систему утилизации и сокращения времени выхода на рынок результатов. Это особенно полезно в борьбе с химическим осаждением паров, сообщает компания. ОАК сказал ASET-F5x системы с новой опцией пластин лук пластины напряжения уже была установлена в 3 300mm линии пилота.