Данными в компании Axcelis технологий, Dow Corning в команду вверх по низким K

Данными в компании Axcelis ТЕХНОЛОГИИ инк Беверли, Массачусетс. И корпорации Dow Corning в Мидленд, штат Мичиган, сотрудничают в разработке процесса, что позволит использовать пористой, ультра-низким А диэлектрических материалов на 0,07-микронный дизайн узла. Этот процесс уже была доказана с помощью Dow Corning XLK спин-на диэлектрик с ак значение 2.

Компания говорит, результаты показали, механической прочностью большей, чем 6GPa, и в то же время сохранив ультра-низких значений-K. По условиям соглашения, компании продемонстрируют передовые технологии процесса с использованием XLK в глобальный центр Dow Corning-приложений в Midland. Данными в компании Axcelis (NASDAQ: Американский Совет Научных Сообществ) установит прототип 300mm мост инструмент системы на объекте.