Данными в компании Axcelis продукта Блиц продолжается
RTP, 300mm проложить путь к полупровод Запад
Не будет июня в полупроводниковой промышленности, не убил продукта внедрения в ожидании полупроводников Западе, и данными в компании Axcelis технологий Инк, кажется, в передней части кривой как пасты на рынок с потоком инструмент релизов.
Беверли, штат Массачусетс основе поставщиков оборудования (NASDAQ: Американский Совет Научных Сообществ) на прошлой неделе принял рассекречивать вступления в быстрой термической обработки (RTP) рынке, а также завершил свою триумвират 300mm ионно-имплантат инструментов с введением 300-мм- способных HC3 сильноточных, низкоэнергетический инструмент. Эти объявления следовать введение несколько недель назад последним средством данными в компании Axcelis "сухой полосы.
HC3, часть совместного развития совместных с японскими данными в компании Axcelis "партнером предприятия, Sumitomo Итон-Нова (SEN), является последним имплантата инструменты данными в компании Axcelis 'перейти от 200 мм до 300 мм платформ. 300mm HC3 присоединяется среднего тока MC3 и implanters высоких энергий HE3.
Данными в компании Axcelis сказал, что, как и его родные брат и сестра, HC3 является эволюционным инструментом, включающий много технологий, разработанных в компании высокого тока с низким уровнем энергии 200mm инструменты, GSD/200 [E.sup.2] и GSDIII / светодиода. "Вы не хотите, чтобы ввести множество рисков на 300mm ... со снижением затрат, которые являются главным драйвер (300 мм). Мы хотели, чтобы он сравнительно низким уровнем риска", сказал Дэвид Дафф, директор по маркетингу данными в компании Axcelis.
Среди технологий признакам в HC3 является улучшенной, высокой передачи пучка соответствует росту низкоэнергетических тока пучка и расширенный диапазон рабочих из 0.2keV к 80keV. "Мы изобрели некоторые технологии коренным образом сохранить более пучка, сфокусированного поэтому он не расходиться сама собой после ее появления," сказал Дафф.
HC3 сохраняет нетронутым ионного пучка, манипулируя его электронов, в соответствии с данными в компании Axcelis. "Мы сделали это без каких-либо движущихся частей и параметров настройки, чтобы замедлить производительность вниз", сказал Дафф. Это привело к низкой энергии пучка увеличивается доставлены пластин легированных время от 20 до 200 процентов, в соответствии с данными в компании Axcelis, и доступна в качестве обновления для 200mm implanters данными в компании Axcelis.
HC3 также обеспечивает возможность запуска мышьяк и фосфор димеров дальнейшего увеличения определенных токов низкой энергии пучка примерно на 50 процентов, в соответствии с данными в компании Axcelis. Это, в сочетании с на месте пластин репозиционирования данными в компании Axcelis технологии ", - которые
позволяет средство для выполнения нескольких сегментов или четырехъядерных имплантатов в той же камере - приводит к
пропускная способность, что составляет более 50
процентов выше по сравнению с конкурирующими
систем, используемых при создании
ультра-мелкие узлы, заявила компания.
Изготовление термальных Дент?
Данными в компании Axcelis надеется, что будет HC3
продлить вести компанию в
сильноточных имплантата рынка,
где данными в компании Axcelis, наряду с SEN,
сосредоточено около 39 процентов рынка, а также его ведущую роль в общем 1,7 млрд. долл. США ионно-имплантат рынок, где он и SEN также пользуются 39 процентов доли рынка.
Хотя данными в компании Axcelis может быть лидером в ионно имплантат, он еле сводит всплеск на рынке инструментов RTP, только что появилась на рынке несколько лет назад. Данными в компании Axcelis надеется, что ее встреча на высшем уровне 300XT изменит. Хотя разработаны для ультра-мелкой перехода отжига, он имеет целый ряд других тепловой обработки заявок, в соответствии с Дафф.
"Это многопроцессных способных RTP платформы. Это не означает только для имплантата отжига", сказал он. "Этот саммит инструмент ... может охватить все заявления, содержащиеся в этом пространстве". Как и ее ионов имплантере, инструмент встречи на высшем уровне непосредственно эволюционировали от своего предшественника. Она включает в себя горячие стены данными в компании Axcelis 'RTP камеру для улучшения теплового равновесия между пластины, источником тепла и стенок камеры, чем лампы-конкурентами RTP, в соответствии с данными в компании Axcelis. Горячей стенки камеры приводит к повышению единообразия и повторяемости, и, следовательно, лучшие результаты процесса, данными в компании Axcelis поддерживает.
300XT также имеет tAxcelis'Precision TempPlus технологии. TempPlus, что данными в компании Axcelis описывает, как кормить вперед, в отличие от обратной связи, технологии, обеспечивает контроль температуры и контроля, независимо от пластины различной излучательные. Дафф говорит, точность TempPlus может автоматически компенсировать различные зад, избавляя пользователя от необходимости настраивать инструмент, с разным рецептам.
Дафф говорит, данными в компании Axcelis начал продвигается вперед на рынке RTP. В ходе нынешнего кризиса, инструменты компании получают подтверждение в ряде логики и DRAM фабрик. "Это луч надежды для всех, кто в кризис: Мы были оформлены в получении", сказал он. "Честно говоря, мы очень бычий из нашей недавней победы дизайн".
