МКС инструменты Автоматизация вакуумных процессов мониторинга

Андовер, штат Массачусетс НА ОСНОВЕ ДОКУМЕНТОВ МКС вкл. разработана в недрах датчик-информационная система, которая обеспечивает полностью автоматизированный мониторинг кластерных средах инструмент вакууме, компания объявила на прошлой неделе. Спектры кластеров инструмент Profiler (CTP) предоставляет в реальном времени данные о дегазации, предварительной очистки PreClean процессов и процессов осаждения и оповещений инструмент оператора о любых отклонениях от нормальных условий, в соответствии с МКС (NASDAQ: MKSI).

CTP ссылки МКС 'спектров в процессе Eye 2000 программное обеспечение для системы производства кластера с помощью инструмента SECS порт инструмента II. E-диагностического готового программного обеспечения постоянно контролирует каждый закачиваемый или процесс, и сравнивает то, что происходит в каждой камере в отношении определяемых пользователем оповещения и сигнализации уровня, МКС сказал. Для фоторезиста мониторинга загрязнения, данные из инструмента PVD и камерно-конкретные датчики объединяются для создания определенной степени загрязненности. Камеры и конкретного процесса модулей можно получить также, что объединить квадрупольного масс-спектрометра основе данных с камеры состоянии данных параметров. Процесс отклонений может автоматически вызвать тревоги и CTP предоставляет на экране диагностики и инструкции, в соответствии с МКС. При определенных условиях ссылки SECS может быть использован для закрытия и изоляции камеры. Сводный список докладов может производиться автоматически, и настроить для оказания конкретной, клиент-с учетом информации, МКС сказал.