Компании Исследуй Комбинированные сухой и влажной очистки Techs

Данными в компании Axcelis ТЕХНОЛОГИИ И вкл. ОЭЗ GROUP объявили о сотрудничестве в исследовании преимуществами интеграции сухой и влажной уборки технологий. Первоначально эти две компании будут сосредоточены на оптимизации комбинированных сухой и влажной уборки процессов противостоять полосы и остаток удаления, как они применяются на медь с низким уровнем А и двойного Дамаскин приложений.

Данными в компании Axcelis (NASDAQ: ACL), базирующейся в Беверли, штат Массачусетс, и ОЭЗ Группа Villach, Австрия, говорит, они надеются на сотрудничество приведет к более эффективной и менее дорогостоящей очистки процессов их производства передовых микросхем. По условиям соглашения, обе компании будут работать вместе, чтобы изучить преимущества использования комбинированных сухой и мокрой полосе чистые операции для фронт-конец линии и бэк-конец линии удаления фоторезиста и после травления очистки . Они будут первый концентрат с низким уровнем А, меди и двойного Дамаскин процессов и позже расширить свои исследования комбинированной сухой и влажной обработки подходов с низким уровнем А диэлектриков и других современных материалов.