Производитель в прикладной инструмент снижает сердечно-сосудистых заболеваний [NF.sub.3] Использование 40%

Applied Materials вкл. выпустила версию своего производителе химического осаждения паров (ССЗ) инструмент, системы Производитель SE, с пропускной способностью 45 процентов выше, чем оригинальный инструмент Производитель, в соответствии с прикладной (NASDAQ: АМАТ). Система может обрабатывать до 130 пластин в час для тонкопленочных приложений и до 100 пластин в час за толстых пленок, в соответствии с Санта-Клара, Калифорния основе прикладной.

Компания добавила, loadlock подогрева элемент дизайна, который позволяет теплового расширения пластины по стабилизации до перевода в процессе камер. Производитель SE также добавляет, малым расходом дистанционного чистой системы, что снижает [NF.sub.3] использование газа на 40 процентов по сравнению с оригинальной технологии компании удаленного Чистота, Прикладная сказал.