ОАК Tencor представляет Surfscan дефектоскопа

ОАК Tencor корпорации САН-Хосе представил Surfscan SP1 DLS, 300-мм инструмент, который обеспечивает контроль светлое, Даркфилд и информации nanotopography дефект в одной проверки, сообщает компания. Surfscan SP1 DLS предназначена для сбора самых различных выход ограничитель дефекты - как малые, как 0,05 микрон - с пропускной способностью до 125 пластин в час, в зависимости от компании (NASDAQ: Клак).

Surfscan DLS SP1 доступен с обработкой пластин края, что позволяет инструмент для неразрушающего проверить задней пластины для загрязнений важным условием для 300mm двухсторонний полированных пластин, в соответствии с ОАК Tencor. Компания планирует начать массовое производство Surfscan SP1 DLS в июле.