Nikon представляет прецизионный сканер

В ожидании SEMICON WEST, Nikon Точность Инк (НПИ) публично обсуждали ее четвертого поколения объектив основе 193-нм сканера на прошлой неделе, S306C, сканер аргона фтора, который включает 0,78 сверхвысокой числовой апертурой. Сканер достигает пропускной способностью 135 200mm пластин в час (АГрм) и более чем 85 300mm АГрм, в соответствии с НПИ, Белмонт, Калифорния основе дочерней корпорации Nikon Токио

"Nikon S306C предназначена для удовлетворения жестких требований для следующего поколения памяти DRAM и логических устройств", Фрэнк Masciocchi, вице-президент по продажам и маркетингу для НПИ, говорится в заявлении.

S306C, 1-к-4 системой подавления, достигает разрешением 0,12 мкм, но может достичь 0,10 микрон или меньше резолюции с помощью SHRINC, освещения Nikon и технологии улучшения разрешения, сообщает компания. Функции системы трех сигм точность юстировки лучше, чем 23nm и недавно разработанных органом, который сводит к минимуму вибрации и температурные воздействия, в соответствии с Nikon. Nikon начнут принимать заказы на весну S306C следующего года.