ОАК Создает Вернуться к PASS
Numeritech релизы ослабленных PSM программного обеспечения инспекции
ОАК Tencor корпорации и численные технологий Инк 'ы OEM соглашения продолжается ОАК Tencor выпустила программное обеспечение сетки инспекции сегодня на основе Numeritech Виртуальные шаговым.
Анализ печатных шаговым Simulator (ПАСС) Программа использует ослабленный фазосдвигающих маску (PSM) модуль для (NASDAQ Numeritech в: NMTC) Виртуальный шаговым программный пакет, который его публично обнародовал сегодня.
Виртуальный шаговым анализа инспекции данных субволновым фотошаблонов включения оптической коррекции близости (OPC) и поэтапного перехода аспекты и определяет, как маска дефекты будут печатать на пластины. PASS можно охарактеризовать дефектов без необходимости перемещения фотошаблона из инспекции инструмент для офф-лайн воздушных инструмент визуализации дефектов, в соответствии с Сан-Хосе, основанные ОАК Tencor (NASDAQ: Клак).
"PASS берет наугад из определения, если субволновым фотошаблона будет работать, как предполагалось," Ланс Глассер, вице-президент и генеральный менеджер подразделения маска подразделение ОАК-Tencor в инспекции, говорится в заявлении. "В результате, наши клиенты маску производителя во избежание того, чтобы полагаться на опыт оператора, чтобы сделать эти определения, а также избежать за счет внесения ненужных ремонта или утилизации фотошаблона совсем.
PASS автоматически имитирует как дефекты будут печатать на пластины до фотошаблона отгружается заказчику или в производство. Он принимает дефекта данных и изображений, собранных сетки инструментом контроля и имитирует изображение рисунка схемы и дефектов проецируется на пластины. PASS затем сравнивает различия между модельных данных и фактических данных дефектов чтобы определить, как дефекты могут печатать на пластины.
PASS, которая анализирует двоичный жесткий (хром) дефекты, OPC функций и оказания помощи линии геометрии, доступна для всех существующих инструментов ОАК Tencor инспекционных сетки, в том числе 3xx, SL3, SL3UV и инструменты Tera серии представил осенью прошлого года.
ОАК Tencor должностных лиц не могут быть доступны для комментариев до пресс мелодию, но Numeritech сказал он возбуждается о двойной объявления ослабленных модуль PSM и его интеграцию с инструментами ОАК в Tencor.
"Вот где будущее", сказал Atul Sharan, старший вице-президент по маркетингу и развитию бизнеса. "Вот где проблемы (и), где возможности". Осмотр маски и фиксации каждую ошибку, не рассмотрит вопрос, будут ли они создавать критических дефектов на кремниевых - так, как это обычно делается с бинарными маски - это уже невозможно, как более субволновым IC конструкций возникли, Sharan сказал.
Это лишь подъехать маску расходы, которые уже стремительного роста, как маски включить OPC и ПСМ для преодоления физики глубокого ультрафиолетового света и печати к югу от 0,18 микрон линий.
Хотя Numeritech работает и с другими OEM-инструмент, компания предпочитает соглашение провайдера с ОАК Tencor. Метрологии инструментальщик уже комплектации Виртуальный степпер с его инструментами на ограниченной основе.
