ОАК Tencor представляет один проход инструмента инспекционной

САН-ХОСЕ ОСНОВЕ ОАК Tencor Корпорация представила МТА XP, инструмент пластины инспекции, что он говорит, может динамически адаптироваться к изменениям плотности пластин назначения в ходе проверки, что позволяет контролировать и место критических дефектов в один проход. Использование собственной технологии ОАК Tencor (NASDAQ: Клак) имеет название NexTek, ALT XP можно проверить весь узорный пластины в 80 секунд с высоким уровнем дефектов захвата, тем самым увеличивая производительность до 75 процентов по сравнению с существующими системами.

ALT XP также включает в себя расширенный подавления шума и фильтрации, чтобы свести к минимуму неудобства захвата дефектов и автоматически сортировать неприятность дефекты убийца дефектов, KLA-Tencor сказал. МТА XP требует меньше параметров рецепт установки и может передавать параметры из рецепт рецепт с помощью шаблонов между несколькими устройствами, что сокращает время настройки на 30 процентов, в зависимости от компании. XP это первый инструмент, ALT, чтобы включить NexTek технологии в качестве стандарта пункта; предыдущих поколений ALT слишком л может быть повышен с NexTek, сообщает компания.