Международный Sematech не видит [CaF.sub.2] Двулучепреломление 157nm как препятствие

Научно-исследовательский консорциум МЕЖДУНАРОДНОГО SEMATECH сообщил, что двулучепреломления в фторида кальция ([CaF.sub.2]) не станет препятствием для принятия 157nm литографии. Двулучепреломление происходит, когда некоторые кристаллы преломляют свет в двух разных направлениях. Остин основе Sematech говорит, что консенсус по своей технологии цеха на полупроводниковых Запад ранее в этом месяце надеется, что [CaF.sub.2] двулучепреломления можно преодолеть.

Технологи идет семинара пришли к выводу [CaF.sub.2] 'ы собственного двулучепреломления не забота о высокой числовой апертурой 193 нм линзы и линзы органов и производителей воздействия инструмента есть несколько методов, чтобы свести к минимуму воздействие на двулучепреломления изображений на 157nm.