ETEC Включает NumeriTech Виртуальный шаговым в Арис

САН-ХОСЕ НА ОСНОВЕ ТЕХНОЛОГИИ Численное вкл. (NumeriTech) является лицензирование своей виртуальной шаговым программное обеспечение для ETEC Systems, Inc для использования в Арис ETEC в 100i 0,13-микронного-и-под сетки системы контроля. С помощью функции Virtual шаговым, Арис инструмент может анализировать изображение сетки в имитационных литографических условиях, что позволяет клиентам предсказать, будет ли дефект может быть воспроизведено на пластины, сказал компаний.

Соглашение также позволяет использовать ETEC NumeriTech (NASDAQ: NMTC) модули для ослабленных фазосдвигающих анализа, автоматизированных тяжести дефекта забил, и переменного диафрагмы фазовый сдвиг маски. Использование программного обеспечения позволит Арис более легко проанализировать и определить дефекты неудобство от убийцы дефектов, ETEC сказал. ETEC является дочерней компанией "Applied Materials Инк, Санта-Клара, Калифорния