Проблемы автоматизации 300mm клетки испытаний

Ведущие производители полупроводниковых соглашаетесь, что автоматизация производственных процессов снижает затраты, снижает риск и ускоряет пускам новых мощностей. Автоматизация усилия требуют, чтобы поставщики оборудования в соответствие с требованиями автоматизации. Как хорошо поставщик отвечает и понимает требования промышленной автоматизации может быть ключевым фактором между поставщиками.

Реализация 300mm автоматизации завода затрудняется тем фактом, что руководство отрасли для автоматизированного технологического оборудования 300mm представляет собой сложный массив норм, производители оборудования должны анализировать, понимать и выполнять. Контрольно-измерительная аппаратура поставщиков, в частности, сталкиваются с двумя проблемами в осуществлении 300mm автоматизации. Первых, это определить, какие из этих стандартов, имеющих отношение к тестовой платформы. Во-вторых, определить, как эти стандарты должны быть приняты для поддержки работы тестовой платформы в клетке процесса тестирования. Одна из основных задач является интеграция тестер, исследователь / обработчик и фронтального модулей с любой системой автоматизации завода. Интеграция осложняется из-за неоднородной природы компонентов в камере, и сложности операционных систем. Интеграция испытательные камеры в системах автоматизации требует тесного участия автоматизированной контрольно-измерительной аппаратуры (ATE) поставщиков.

Поддержка 300 мм автоматизированного производственного потенциала в первую очередь определяется как соблюдение процесса инструмент для производственных стандартов, определенных МГК Глобальной совместной Рекомендации для 300mm Фабрики Semiconductor (GJG), выданный Международным Sematech (ISMT) и Японии 300mm полупроводниковой технологии Конференции (J300 ). GJG определены 29 стандарты подразделяются на девять оборудования для автоматизации аппаратных стандартов, 19 средств автоматизации программного обеспечения нормативных требований, а также один номер и уровня безопасности. Кроме того, три проекта стандартов документах упоминаются. Не все из этих стандартов имеют непосредственное отношение к функционированию в испытательной камере в 300mm производственную линию. Без соответствующих стандартов решения проблем, или системы вне сферы контроля или в испытательную камеру. Поставщик испытательной камере должна точно определить, какие из 29 GJG стандарты соответствующих а также любые другие стандарты, которые могут представлять интерес, например, конкретные модели оборудования для исследователь тестер. Анализ куб rrent требований приложений испытаний, а также возможности 300mm следователь указывает, что концентрация соответствующие сделки стандартов автоматизации для управления и связи (E30, E30.3, E91), перевозчик управления (E87) и рецепт и управления заданиями (E40, E94) ..

Одной из основных проблем поставщику испытательной платформы является то, что требует GJG оборудование для производства быть связаны с принимающей одной физической линии связи, что соответствует требованиям SEMI E37 высокоскоростной SECS Message Service (HSM) протокол. Эта связь должна быть в состоянии передавать и получать все SEMI E5 SECS-II сообщений.

Это однопроводной требование означает, что платформа тестирования и зонда платформы должны не только индивидуально поддержку соответствующих стандартов, но, что поддержка должна быть интегрирована в одно звено связи на завод хозяина. По сути, стандарты, которые являются специфическими для любой следователь или тестера должны быть интегрированы в единый сценарий обмена сообщениями, в то время как стандарты, которые являются общими для обеих должно быть в деконструкции следователь и тестирования компонентов.

В E87 спецификации для переноса носителей стандарта, пластины перевозчика может быть связано с конкретным портом, через хост-либо оборудования основе уведомления. В любом случае, определение перевозчика результаты в определении и скачать правильного рецепта процесса. Сложности для испытательной камеры является то, что на самом деле Есть два независимых рецепты, которые требуется - один для тестера и один следователь. Правильное определение и загрузка 2 рецептов требует уровень интеграции между следователь и тестирования, которое обычно не настоящее.

Управление загрузить рецепт следующий область. Тестер или следователь платформы, GEM (E30), совместимые управляет идентификации, загрузки и выполнения процесса рецептов. GJG вводит требования к объектно-ориентированный процесс работы в E40. В этом случае хозяин завода создает объект процессе работы на оборудовании, которое он может выполнить в более позднее время, когда пластины материал поступает на инструмент. GJG также предусматривает концепцию контроля работы в E94, что является еще одним объектом данных, используемые для управления несколькими объектами процесс E40 работу.

Управление процессом и контроль работы осложняется тем, что оборудование на самом деле два отдельных инструментов, с двумя отдельными требованиями рецепт. Одного задания управления, содержащий несколько заданий процесс должен быть правильно установленных и загруженных из к следователь и тестер. Монтаж процессе самостоятельной работы исследователь и работа тестера процесса в общее дело управления носит сложный характер.

Из отдельных перспективы поставщиком платформы, поддержка стандартов усилия в настоящее время в два раза. Как отдельные GEM совместимых инструментов, тестеров и следователь должен поддерживать сценарий E30 команды. В 300mm применения ячейки инструменты должны работать вместе, чтобы поддержать E40/94 рецепт и объектов управления заданиями.

Есть множество дополнительных осложнений при применении перевозчиком управления, процесс работы и управленческого контроля работа 300mm автоматизированной испытательной камеры. Решение для агрегации три отдельных инструментов и 10 соответствующих стандартов в single-point/single интерфейс провода, чтобы тест-системы выступать в качестве арбитра сообщение для хозяина. 300mm интерфейс GEM решение было разработано, где слой GEM интерфейс существует как отдельный процесс, программное обеспечение контроллера системы тестирования. Конечным результатом этой конструкции является то, что в направлении завода до средством коммуникации, завод действительно видим один единственный порт связи.

Очень тесное сотрудничество между поставщиком испытательной платформы, поставщик зонда платформы и производителя IC, чтобы успешно автоматизировать 300mm клеток тест. Производители и поставщики оборудования, осознают, что широкое признание и внедрение отраслевых стандартов являются единственными путями для достижения достаточной отдачи от инвестиций м автоматизированных производственных линий.

Уильям О'гради это профессиональный менеджер грамм для автоматизации программу завода GEM, и Питер Риджуэй является менеджером по развитию бизнеса для автоматизации завода GEM программы внутри Agilent Technologies Инк Пало-Альто, Калифорния