МКС выпускает in-situ осаждения Мониторы

Морган-Хилл, Калифорния ОСНОВЕ МКС инструменты Инк выкатил 2 в точке процесса мониторинга систем, спектры Vision 1000-C для химического осаждения паров (ССЗ) процесс инструментов и Vision 1000-E для Etch инструментов, использование остаточного газа методы анализа. Оба процесса мониторы сочетают с закрытым исходным кодом ионного анализатора тесном сочетании автоматизированного входного контроля полного сердечно-сосудистых заболеваний или Etch технологического цикла, в соответствии с МКС (NASDAQ: MKSI).

Метрология инструментов также использовать собственные быстрого реагирования на МКС 'Uniblocinlet клапан, который автоматизирует выборки фона и технологических газов через рецепт основе спектров процесса Eye 2000 программного обеспечения, компания говорит. Vision 1000-C можно отслеживать уровни различных газов в камере чистой, пассивация последовательности и осаждения в рамках различных процессов сердечно-сосудистых заболеваний, в том числе осаждения нитрида титана, оксида тантала, меди, вольфрама и силицида. Vision 1000-E предназначен для контроля вакуума основе Etch процессов, включая плазменные и высокой плотности плазменного травления, г eactive ионного травления и микроволновой офорт, сказал МКС.