Лам Интеграция метрологии Технология Терес СС Инструменты

LAM ИССЛЕДОВАНИЯ Корпорация планирует интегрировать технологии МЕТРОЛОГИЯ из Санта-Клара, Калифорния основе SENSYS инструменты на борту Терес Лам в химико-механического планаризация (CMP) инструментов. Объявление идет по пятам объявления августа о том, что Лам был интеграции ОАК Tencor Корпорация технологии в свои инструменты травления.

Лам (NASDAQ: LRCX) говорит, сухой в линии метрологии SENSYS "система может принимать предварительные СС и postpolish / чистой измерений на любое количество конкретных умереть местах. Терес дополнения в точке широкополосных оптических технологий обнаружения конечной точки. CMS комплексный вариант метрологии доступна как для 200mm и 300 мм Терес систем.