ДОИ отвечает установленным требованиям в ОАК Tencor TeraStar для 0,13-микронного маска производства

САН-ХОСЕ ОСНОВЕ ОАК Tencor Корпорация "и" Дюпон фотошаблонов Инк завершить бета-тестирование TeraStar ОАК Tencor в SLF27 сетки инспекции инструментом в (NASDAQ ДОИ: DPMI) и ванная комната в Раунд-Рок, штат Техас. ДОИ приказал две дополнительные инструменты для его TeraStar сетки-технический центр и его тайваньский объекта.

Раунд-Рок основе ДОИ планирует использовать TeraStar инструменты для проверки производства фотошаблонов с 0,13-микронного функции, а также те, которые используются при разработке микросхем с 0,10-микронной черты. TeraStar, что ОАК Tencor (NASDAQ: Клак) в прошлом году, был разработан в сотрудничестве с Международным Sematech проверить маски включения фазосдвигающих и оптической коррекции близости. Она включает Старлайт технологии ОАК в Tencor.