Лам XD экспонирования Достигает 2 мм / СС пограничного контроля

<Р

> LAM ИССЛЕДОВАНИЯ Корпорация выкатился валиком ДЛЯ 200mm Терес LAM'S химико-механического инструмента, который позволяет планаризация надежный контроль в пределах 2 мм пластины края. Плита XD можно всегда по силам внутри пластины неоднородности менее 3 процентов с 2 мм края изоляции, утверждает компания. XD Платен доступна в качестве обновления для установленных 200mm Терес системы и доступен для новых инструментов, как хорошо.