МКС документов представляет новый газогенераторы астрономии

МКС ИНСТРУМЕНТЫ вкл. выкатили свой последний ASTRON серии высокого потока реактивной газовые генераторы, Астрон-е и Астрон-ех, для очистки депозитов от стен камеры процесса. На основе запатентованной низким МКС 'поля тороидальных плазменных технологий, Астрон-е и Астрон-бывших отделить альтернативных газов ввода, таких как perfluoropropane ([C.sub.3] [F.sub.8]) и тетрафторида углерода ([CF. sub.4]) для выработки реактивной химии вниз по течению, в дополнение к чистке трифторида азота ([NF.sub.3]), МКС сказал.

С ее увеличить газовые возможности обработки, Астрон реактивной генераторы газа предназначены для больших камер, но может также обеспечить более быстрое чистой раз или более низкой стоимостью владения, поскольку они обеспечивают необходимую гибкость для использования менее дорогих источников газов, МКС сказал. Генераторы Астрон газа функция непрерывной работы, что является nonduty цикла ограничено высокой объемной скорости потока и не требуют аргона в процессе эксплуатации. Источник питания, модуль управления и плазменной камеры интегрированы в единый блок на Астрон-е и взрывозащиты, а.