Sematech объединяет nanoglass, принадлежности silknet альянс
МЕЖДУНАРОДНЫЙ SEMATECH успешно интегрированы и протестированы низкой к Honeywell в спин-на диэлектрические пленки, Nanoglass Е, 2-уровня меди двойного Дамаскин соединительные структуры, изготовленные с приемлемой доходности Honeywell сказал. Nanoglass E экспонатов ак значение 2,2 и примерный размер пор 2 нм. Сданные на хранение в обычных Coater спина использованию стандартных спина, печь и методы электрической плитке лечения, Nanoglass E позволяет пропускная свыше 100 пластин в час. Фильм может выдержать прямое химико-механического планаризация, сообщает компания. Nanoglass E показал o.2 процентов неоднородности на 1 сигма-200mm на пластины и 0,9 процента на 1 неоднородности сигма-300-миллиметровые подложки. Nanoglass E намечен на коммерческий релиз в первом квартале следующего года.
В других странах с низкими усилия к кино, Sematech также поставляет процесс пластин Dow Chemical Ко с Silknet альянса, группы материалов и оборудования, поставщики сотрудничают с низким уровнем А процесс развития кино. Silknet члены будут использовать пластины разработки совместимых процессов и продуктов для поддержки Доу Шелковый низким А фильмы для 0,13-микронного технологического процесса и меньше геометрии. Sematech Расширенный технологического развития фонда (ATDF), которые недавно начали предлагать низкие-к обработке с использованием Шелковый диэлектрических материалов, будет производить частично узорной пластин для Североатлантического союза в поддержку травления Silknet в, химико-механического планаризация, уборка, метрологии и другой процесс, модуль внимание областях. ATDF будет производить пластины использованием плотной структуры Шелкового; первоначального пластин будет использовать 0,25-микронный конструкциях, с будущей миграции в сторону меньших геометрии, Dow сказал.
