Прикладная выбор в пользу E-Beam: Schlumberger метрологии устройство последняя глава в приобретении Пьесы
Если кто-то еще сомневается, что электронный пучок вышло из возраста пластины инспекции, все, что нужно сделать, это посмотреть на "Applied Materials с Инк недавнее приобретение.
Прикладная покупает с ООО "Шлюмберже" Доходность по повышению Systems Group, метрологии бизнеса компании, добавив, электронного пучка компании "Шлюмберже" (электронный луч) инспекции инструменты для своей растущей кадров метрологии предложения. Этот шаг ставит прикладной на более твердую почву с конкурентами метрологии, в первую очередь ОАК Tencor корпорации
Только в прошлом году в июне, в ходе развертывания прикладных о его Компас лазерного сканирования оптического дефектоскопа, руководство компании предложили, что оптические инспекционные инструменты являются более предпочтительными, электронно-лучевая инструментов.
Хотя эти заявления могут быть отнесены к маркетингу компании, которые не имеют электронно-лучевая инструментов на рынке, вплоть до этой точки, то, безусловно, верно. Тем не менее даже в этом случае метрологии рынке начала меняться.
До недавнего времени, электронно-лучевая инструменты не вариант, когда речь идет о встроенной метрологии на fabline. E-лучевая технология может производить впечатляющее разрешение, но в дополнение к их счет относительно высокой по сравнению с оптическими инструментами, электронно-лучевая инструменты не имеют пропускную способность в режиме реального времени инспекции.
Но место электронным пучком в инспекции резко изменилась в последние несколько лет индустрия открыла в 0,18 микрон эпохи наряду со многими новыми материалами, наиболее заметными из которых являются медь и низким уровнем А диэлектрических пленок. Разбирая убийца бежал из доброкачественных на узорной пластины и их исправление стало ключом к успеху в потрясающий.
E-пропускной пучка инструменты 'улучшилось до такой степени, что они могут быть использованы в fabline, хотя они по-прежнему не могут конкурировать с оптическими инструментами, когда дело доходит до пластин в час и, скорее всего можно найти в использовании в процессе развития роль. Это также, вероятно, только вопрос времени, пока электронно-лучевая инструменты пропускной матчей, что оптические инструменты, "Шлюмберже" предположил, что придет время, в течение нескольких лет.
Кроме того, обретенной популярности электронно-лучевая Сервис "является свидетельством их способности по достижению резолюции и найти убийцу дефектов, что оптические инструменты не могут, поэтому они стали играть вспомогательную роль традиционных оптических инструментов.
ОАК была Tencor разжигание успеха с eS20XP электронным пучком инструмент, который он представил в июле прошлого года.
По состоянию на конец февраля этого года, KLA-Tencor получили приказ от 17 из 20 крупнейших производителей полу, помогая eS20XP достижения 500-процентный рост продаж в течение 6 месяцев. "Шлюмберже", которая начала свою метрологии в 1996 году, начала свою Одиссей 300 дефектоскопом в то же время, как eS20XP свитке ОАК в Tencor.
Использование частных электронным пучком напряжения отличие технологии, Одиссей 300 система обнаруживает, поверхностных и подповерхностных дефектов, в том числе электрические, частиц и характер дефектов, сказал компаний.
"Мы считаем, сильного технологии визуализации Одиссея системы будет предоставлять нашим клиентам различные преимущества по сравнению с конкурентоспособной инспекции электронно-лучевая технология", говорит Сасс Сомех, исполнительный вице-президент "Applied Materials.
Некоторые производители уже используют полупроводниковые "Одиссее", в соответствии с компаниями. Инструмент будет полностью поддерживает процесс диагностики прикладной и отдел контроля, Прикладная сказал.
С успехом пучка своих конкурентов электронной инструментов в последние год-полтора, кажется, хорошо сроков со стороны прикладной приобрести один из этих конкурентов. Но сроки также случайно в "Шлюмберже".
Выход группы повышения является частью компании "Шлюмберже" Semiconductor Solutions, которая содержит чип-индустрии компании. Хотя "Шлюмберже" объявил в начале года, что он хочет продать свой бизнес полупроводниковых, он сказал Электронные новости в конце октября, что она планирует выйти из ее чип-тест-родственных групп, а не продавать их.
Было все еще ищет покупателя для своего телекоммуникаций и систем контроля предприятия и сказал, в то время, что она планирует объявить о продаже бизнеса повышения доходности в этом месяце.
