Aixtron кластеров технологических модулей с металлической органических ССЗ Инструмент

Немецкий OEM AIXTRON AG объявила о интеграции ее быстрого предварительной очистки PreClean H2-металл-CVD (химическое осаждение из газовой фазы) и быстрого термического модуля обработки его оксида германия карбида кремния (SiGeC) Tricent металла органических 200/300mm сердечно-сосудистых заболеваний кластера инструмент. События были вызваны развитием промышленности спрос на комплексной обработки последовательностей для таких приложений, как изолятор на кремнии и полный стек ворота / конденсатор стека образования, сообщает компания.

Aixtron показали 20 процентов сокращения времени обработки с помощью встроенного инструмента, утверждает компания.