2001 объявлений

ТОКИО - Метрология и управление доходами заняла центральное место в полупроводниковых чипов Японии, искать пути выжимать чипе и доллара они могут из FAB линий в эти трудные экономические времена.

Как промышленности планы по производству 0,13-микронных линии и разрабатывает еще меньше функций устройства, это делает инспекции дефектов и метрологии ответственный процесс. Один японский поставщик оборудования посмотрел воспользоваться все более важную роль метрологии здесь на 25-й ежегодной полупроводников Японии. Canon инк сказал, что будет оказывать продаж и технической поддержки в Японии метрологии запуска nLine Корпорация, в которой также приняли рассекречивать его цифровой голографии оптические дефектоскопа пластины во время шоу.

nLine является венчурный капитал поддерживаемых запуска, которая привлекла около $ 30 млн в столице с момента ее основания в январе 2000 года. Среди инвесторов корпорации Intel и Advanced Micro Devices инк

технологии nLine в прямой цифровой голографии (DDH), первоначально была разработана и запатентована основателей nLine, Павел Джонс и CE Томас, оба ученых на федеральном уровне национальной лаборатории Oak Ridge, когда они разработали технологию. Обычных оптических средств контроля обычно измеряют количество света, отраженного или рассеянного от пластины. DDH обнаруживает дефекты путем регистрации интенсивности и фазы света с ПЗС-камерой для создания 3D-карта поверхности пластины и может проверить высокой пропорции, такие как, которые содержатся в Дамаскин структур, в соответствии с nLine.

nLine работает с исследовательского консорциума Международный Sematech, среди прочего, и корабль его первой бета-версии своих инструментов для метрологии Фатом Sematech в январе, а вторая бета-версия инструмента для другого клиента вскоре после этого, говорит генеральный директор компании Боб Оуэн. Компания планирует поставлять 6 средств производства во второй половине следующего года, добавил он.

Компании, которые уже работают в области метрологии пространстве, а также те, которые обеспечивают доходность управления программным обеспечением интересов доклада остается высоким, и некоторые компании метрологии выветривания спад значительно лучше, чем OEM-производителей в других сегментах рынка.

"Программное обеспечение растет гораздо больше, чем аппаратные стороны", сказал Джефф Hintzke, вице-президент по маркетингу Electroglas Inc "уровень активности, безусловно, поднял".

Electroglas недавно объединил свои различные предложения программное обеспечение у его дочерних предприятий и приобретения в соответствии с этикеткой Е. Soft. Electroglas также работает с поставщиком программного обеспечения прикладной Точность и пластины Worx программного обеспечения и аппаратных средств анализа свидетельствуют не только о точности его probers, но, как можно использовать данные, предоставленные probers Electroglas через пластины Worx.

"Мы не совсем там, но мы смотрим на то, как, чтобы это совместный продукт", Hintzke сказал.

Для Veeco инструменты, которые он принимает сходимости современным требованиям технологии и спада перенести свою атомно-силовой микроскоп (АСМ), изделий из резервного конец строки, офф-лайн приложений для сред переднего плана производства для таких приложений как химико-механического планаризация и травления метрологии. Компания говорит, он получает признание от 300 мм и 0,13-микронного клиентов, и она растет во время экономического спада в результате.

"Это среде мы находимся в настоящее время, и мы успех," сказал Тодд Брэдли полупроводниковых менеджер по маркетингу Veeco.

Veeco продаж за первые девять месяцев этого года составила $ 356,7 млн., что на 32 процентов больше по сравнению с аналогичным года. Это метрологии продаж $ 132,3 млн. за этот период, рост по сравнению с 110,5 млн. долл. США размещены в период предыдущего года. АСМ-бизнеса Veeco в одиночку было до 64 процентов.

"Мы планируем делать наилучшим образом на 300мм, сказал Кларк Тейлор, вице-президент Veeco маркетинга. "Я не думаю, что мы будем иметь никаких проблем с признанием. Это будет нам предстоит доставить", сказал он.

FEI Ко оказывает подобный опыт со своими инструментами, в первую очередь уделять основное внимание метрологии ионно-лучевого предложений. FEI росла в течение 1998 кризиса и до сих пор повторяет, что исполнение, сказал Джей Линдквист, старший вице-президент и генеральный менеджер подразделения микроэлектроники ФЭИ группы продуктов. В первые девять месяцев 2001 года, компания заработала доход в размере $ 279 млн по сравнению с $ 225 млн за тот же период 2000 года.

Как Veeco, FEI видит ее инструментов перехода к производственной линии. "Именно этот подземных информацию, которая позволяет им пройти через этот процесс гораздо быстрее, уступать," говорит Линдквист.

Это передовые технологии, такие как медь и глубоко subwave длины литографии производства глубоко субмикронных структур стимулирование интереса в области метрологии. И уменьшение времени цикла толкает метрологии инструменты становятся инструментами в линию производства.

Микросхем готовятся отправиться в производство с 0,13-микронного разрабатывает и изучает R

"Так что клиенты должны более точные инструменты мониторинга производительности", сказал Хаттори. "Клиенты просят эти модули в потрясающий линии - это направление", сказал он.