TEL Запуск плазмы азотирования Гейт System, дополнительная

Tokyo Electron LTD. (TEL) занимает рассекречивать ряд инструментов, включая его 300mm тепловой пакет процессора, TELFormula, горячей стенки процессор, который поддерживает и переменный размер обработки груза от 1 до 25 пластин в пакете без манекена вафли или рецепт изменения. TELFormula есть сырые время процесса для большинства процессов примерно 1 час, в соответствии с японским OEM. Она достигает теплового сокращения бюджета в части, используя быстрый TEL в термальных обогреватель процессоров, компания заявила, способен прогрессивных технологических процессов, таких как металл, химического осаждения паров для конденсаторов и высоких А фильмы для ворот диэлектриков. TELFormula также включает в себя на месте сухих компании камере технология очистки, что исключает необходимость для офф-лайн влажную уборку, по данным компании. TEL планирует начать поставки TELFormula весной.

TEL также начали продавать свои Триас SPA, системы плазменного азотирования, которая включает азота в ворота диэлектрических пленок. Триас SPA относится то, что TEL звонки щелевой антенны плоскости (SPA) технологий генерации плазмы. Инструмент генерирует высокой плотности, низкой температуры электронов плазмы с отличным единообразия, что позволяет стабильное, повреждения, свободной плазменной обработки, в соответствии с TEL. SPA плазмы азотирования могут быть объединены с ультратонкими образования оксидов с использованием быстрого TEL в термическая обработка Система / низкого давления Окисление системы, высокая скорость нагрева и охлаждения печи. На основе этой технологии TEL сказал технологии может производить окись с электрически эквивалентная толщина 1.2nm с течи в 10 раз и более.

Незадолго до полупроводников Японии, TEL объявила, что она разработала сканирования Coater помощью сопла методом сканирования и приступило к коммерческой версии низким А, низкая проводимость прослойки изоляционного покрытия. насадка инструмента сканирует весь пластины обойтись необходимый объем материала, используя значительно меньше материала, чем типичные для нанесения покрытий спина и сокращения количества остатков слева на пластинах и в технологических камерах, в соответствии с TEL. Установка для нанесения покрытия сканирования будут смонтированы на Чистота Трек TEL 8 Закон о системе и будут доступны как низкий-K-пленочное покрытие устройство, сообщает компания.