KrF Twinscan Ручки 95 пластин в час, ASML запускает Подготовка сайта

ПОСЛЕДНИЕ литография голландская ASML литографии GIANT'S инструмент, Twinscan AT: 850B, является фторид криптона (KrF), 248 нм версию своего 300mm шагового этапе двойного пластины. Инструмент имеет числовой апертурой 0,80, 110nm разрешения и пропускной способности 95300mm пластин в час. Первый AT: 850B система будет поставляться в этом месяце на азиатских клиентов, ASML сказал.

ASML также сказал, что это открытие новых азиатских клиентов центр подготовки в Кавасаки, Япония, охватывающий литографии, отслеживать пластины и термическая обработка технологии, с особым акцентом на 300mm оборудования. Начальное обучение в использовании пластин шаговые и шаг за шагом и сканирование системы начнется во втором квартале 2002 года, с 300mm-ориентированное обучение, постепенно в ходе третьего и четвертого кварталов 2002 года. Kawasaki центр подготовки 36 000 квадратных футов объекта, который включает в себя значительную часть чистой комнате пространство для практического опыта системы, ASML сказал.