Терма-волна Приобретение комплексного поставщика Метрология - Fab Line - SENSYS инструменты корпорации, - Краткие статьи
ФРЕМОНТ, Калифорния ОСНОВЕ Терма-WAVE вкл. о подписании окончательного соглашения о приобретении корпорации SENSYS инструменты, частная интегрированная компания, метрологии начал в 1996 году. До регулирования и одобрение акционеров, SENSYS станет дочерней компанией Терма-волны при слиянии закроется в начале первого квартала 2002 года, сказал компаний.
SENSYS предлагает комплексные метрологии приложений для химико-механического планаризация и фоторезиста Coater / разработчик инструментов с дизайном победы на нескольких OEM-производителей, таких как Лам исследований корпорации и Tokyo Electron ООО, в соответствии с Терма-Wave.