Canon выкатывает 300mm Литография Набор инструментов - Fab линии

Компания Canon Inc начали принимать заказы на его ПОСЛЕДНИЕ 300mm литографии набор инструментов, в том числе FPA-5000AS3 сканера аргона фтора, FPA-5000E54 сканера фтора и криптона FPA-5500iX я-лайн степпера. 193 нм FPA-5000A53 сканер, который включает в себя высокой чистоты фторида кальция объектив технологии в рамках своей оптики проекция, особенности освоения новых низкой аберрации 4:01 сокращения объектива с высокой числовой апертурой 0,75 (NA), в соответствии с Canon.

248am FPA-5000E54 сканер также имеет низкой аберрации 4:01 сокращения объектива с 0,80 Н.А. и имеет тот же отпечаток, как его предшественника E53. Обе модели оснащены сканером наложения точность юстировки менее 20 нм при перемещении 350mm в секунду, в зависимости от Canon. В результате, FPA-5000AS3 и FPA-5000ES4 достичь пропускной номера около 105 пластин в час (АГрм) и 110 АГрм, соответственно, 300-мм подложек, а также 160 АГрм каждый 200mm пластин. последние Ильин Canon в шаговых имеет недавно разработанных 2x степень измельчения и 0,37 НС объектив для работы с изображениями 50mm-на-50mm одного изображение с поля. Используется с 4,5 кВт ртутной лампы сверхвысокого давления, инструмент вмещает в пропускной АГрм 120 с 300-мм подложек и 160 АГрм с 200mm пластин. Canon планирует начать доставку инструмента на второй или третий квартал 2002 года. Оптрон компании фторида кальция объектив растительного сырья и создание инструмента для производства 600 единиц в год в месте, готово для создания заказов, чтобы начать строить, Canon сказал.