Данными в компании Axcelis знакомит следующего поколения заряда стирания инструмент - Fab Line - RAPIDErase - Краткие статьи - Каталог объявлений
Данными в компании Axcelis ТЕХНОЛОГИИ вкл. недавно обнародовал RAPIDErase, УФ-система предназначена для улучшения урожайности за счет устранения электрических накопления заряда в полупроводниковых приборах. На основе платформы данными в компании Axcelis 'фотостабилизация, клиенты могут адаптировать RapidErase в диапазоне спектра лампы в различных процессах, в том числе сочетание заряда стирания и фотостабилизация на одном инструменте, в соответствии с данными в компании Axcelis.
RapidErase доступна как 200mm 300mm или инструмента.