Саймер запускает ELS-7000 248 нм KrF эксимерного лазера - Fab Line - Краткие статьи - Каталог объявлений

LASER MAKER Саймер вкл. выкатил свой последний КРИПТОН фтора (KrF) производства источника света, ELS-7000, предназначены для 248 нм литографических инструментов. Саймер сказал он уже получил несколько заказов системы ELS-7000, превысив $ 14 миллионов. Как и аргона фтора (АРФ) сестра продукт, ELS-7000 работает на частоте повторения 4kHz, поддерживая высокие скорости сканирования.

Она обеспечивает Вт 30 выходной мощности и возможности Саймер Собственная переменной энергетики и частотой повторения операции. ELS-7000 может предоставить полный изображений возможности для 200mm и 300 мм сканеры литографии с 0,8 численного конструкции диафрагмы объектива, в зависимости от Саймер.