Новый Vision выдает Аргус для литейного производства, ASIC Apps - Fab Line - Краткие статьи
Поставщик программного обеспечения NEW VISION СИСТЕМЫ (NVS), который недавно выпустил Аргус Версия 2.3, которая предлагает литографии критического размера (CD) и наложения управления специально предназначенные для сложных условиях поток продукта, по данным компании. Он расширил функции Аргус 'для поддержки производства в литейном и ASIC условиях.
Этот новейший выпуск расширенный контроль процесса NVS (APC) программное обеспечение автоматически настраивает параметры экспозиции обратную связь в ответ на сетки и пленки стека, NVS сказал. Аргус использует отдельный контур управления, которая кормит ожидает корректировки по решению сетки воздействия, связанные с условиями и входящих много, в зависимости от поставщика программного обеспечения.