Greener грядущего - Окружающая среда - полупроводниковой промышленности

Хотя эта отрасль была довольно пестрый прошлом, когда дело доходит до охраны окружающей среды и профессиональных проблем здравоохранения, это все-таки добился больших успехов в улучшении и продолжает это делать.

Действительно, по сравнению со многими другими отраслями, полупроводниковой промышленности, можно сказать, встретить чуть ли доброкачественная. Проблемы с загрязнением грунтовых вод и загрязнения воздуха в целом были поставлены под контроль.

Он принимает большое количество воды и электроэнергии для изготовления чипов. Например, она занимает в среднем 2275 галлонов воды для обработки 1 6-дюймовых пластин. Типичным 8-дюймовый потрясающий сегодня можно использовать несколько миллионов галлонов воды в день. Помимо воды и электроэнергии, производство чипов требует определенных химии и веществ, которые могут оказаться токсичными, когда рабочие вступают в контакт с ними, или они не утилизировать должным образом. Работник окружающей среды на здоровье и безопасность обеспокоенность, в то время промышленность звездных уровень безопасности для работников по сравнению с другими отраслями, Есть тем не менее, текущие судебных баталий и за рубежом в течение предполагаемого воздействия химических веществ на чипе фабрик.

И растущее движение к утилизации отходов подходит для электронной промышленности в качестве потребителей и правительств во всем мире, особенно в Европе и Японии, смотреть в промышленности найти способы удаления свинца из упаковки, а также восстановить и повторно то, что устарели.

Но индустрия созрела для перемен. Именно в среде из нескольких технологических переходов, которые создают точки перегиба для промышленности, чтобы приступить к принятию более экологически чистых и экономически эффективных технологий.

Некоторые поставщики оборудования, такого как FSI International, Inc имеют широкое распространение событий в создании экологически безопасных процессов в течение нескольких лет. Но за исключением нескольких ранних усыновителей, таких, как Европейский чипов ST Microelectronics и Филлипс полупроводников, только сейчас полу производителей предпринимает серьезные смотрит на эти методы.

"Там должно быть очень важным стремление влиять на изменения в фабрики," сказал Скотт Беккер, вице-президент по управлению продуктами системы FSI у поверхности кондиционирования. Но тех водителей, прибывших в форме сокращения цикла продукта времена и новые материалы, такие как медь и низким уровнем А фильмы.

"Мы находим клиентов эти две возможности, которые позволяет нам впихнуть в этих изменениях", сказал Беккер. "Теперь у нас есть возможность для включения", добавил он.

Это также может сыграть на преобладающей тенденцией инструмент OEM-расширения в эксплуатацию и поддержку в качестве чипов больше и больше полагаться на аутсорсинг, посмотрите на своих поставщиков, чтобы обеспечить инноваций в технологический процесс.

"Трудно предсказать будущее, но в течение ближайших трех-пяти лет, я думаю, что будут изменения, так, как мы подходим к этим экологических проблем", предложил Mike Вулстон, старший директор по экологическим продуктом разделения решений на "Applied Materials инк

Хотя был применен один из первых, участие в обслуживании и поддержке за предлагая инструменты, то, чего не сделали в прошлом, но рассматривает возможность делать это offerering экологических услуг и поддержки с ее инструментами. "Эти районы Applied Materials традиционно не играл," добавил он.

Менее [H.sup.2] O = Меньше химических дополнительная $ $

Так что то, что поставщики делают, чтобы воспользоваться возможностью, предоставляемой этой точки перегиба? Что мы видим в 300mm фабрик завтрашнего пластин, что сделает их более благоприятными?

OEM-производители в первую очередь искать пути сокращения потребления воды, энергетической и химической использования. Меньше токсичных химических веществ, используемых, меньше воды и выбросы в лечении. Меньшее количество химических веществ также означает сокращение материальных затрат. FSI, например, ожидает, что быстрое принятие его Д.И. [O.sub.3] Поколение модуль в ближайшие несколько лет. Она обеспечивает озонированной воды для Зета пластины компании для очистки. Хотя озонированной воды был использован для противостоять полосы - ST Micro успешно реализовал Д. [O.sub.3] в одном из итальянских фабрик, как бета-версию сайта в 2000 году - это новичок на пластины очистки. Обычно уборка включает в себя любит пираний в основе химии используя агрессивные химикаты, такие как серная кислота, перекись водорода и аммиака.

С помощью озонированной воды, выпускаемое Д. [O.sub.3 модуль], использование воды может быть уменьшена на 40 процентов, в соответствии с FSI. Между этим и сокращения или ликвидации химических веществ, затраты на пластины химикатов и воды падает с 45 центов до 24 центов на пластины, Бекер сказал.

Кроме того, в отказе от использования пираньи, клиенты могут института короткие пластины полоскание, которое в свою очередь, способствует сокращению времени цикла. Система также снижает след большей, чем 50 процентов из-за уборку и промыть шаги проходить в той же камере, сказал FSI.

Другие компании ищут в сверхкритической двуокиси углерода, которые традиционно использовались для того, как кофеин или хмеля извлечения из напитков, для использования в вафельном очистки и противостоять полосы.

С точки зрения энергопотребления, инструмент поставщики ищут способы сделать их нового поколения инструментов более энергоэффективным. Применяется, например, сделал потрясающий изучение потребления электроинструмента и определил, что 20 процентов до а то и на 40 процентов мощности потрясающий потребляется механических насосов.