Терма-волна вводит в режиме реального времени оптического инструмента рефлектометрии CD - Fab Line - Краткие статьи

МЕТРОЛОГИЯ ПРОИЗВОДИТЕЛЯ Терма-WAVE вкл. выкатил Opti-зонд RT / CD, в режиме реального времени оптических критического размера (CD) метрологии системы. Оптическая система сочетает в себе рефлектометрии CD спектроскопических эллипсометрии (SE) оптических измерений в режиме реального времени регрессии для расчета и отображения результатов без использования офф-лайн моделирования и решения библиотеки, Therma волны сказал.

SE основе оптических измерений представить более подробную информацию о содержании профиль боковины и форме, чем можно получить нормального падения основе методов, сообщает компания. Собственные алгоритмы регрессии программного обеспечения детальное определение поперечного сечения профилей и вычислить CD в избранных местах по профилю с высоты, глубины, угла и боковины подкладочный толщины пленки в реальном времени без необходимости использования упрощенной формы модели, в соответствии с Терма-Wave.