Суссе инструмент решает проблемы контактов лито - Fab Line - Краткие статьи

SUSS MicroTec представила инструмента НЕДОРОГОСТОЯЩИХ литографии, 1-в-1 полный области литографии инструментов, наряду с собственной маски защите технологий (MPT), что он говорит решает проблемы, связанные с печатью контакта пластины. Это, в свою очередь, исключает прилипание между полной области, субмикронных фотошаблонов и фоторезиста применительно к пластине, таким образом устраняя дефекты, вызванные противостоять загрязнению, и снижает потребность в маске очистки, в соответствии с Суссе.

Суссе продемонстрировал более чем 800 вакуума контактных отпечатков без маски очистки, сообщает компания. Заключение договора с МПТ также демонстрирует эффект самоочистки, Суссе говорит. Частицы дефектов, которые печатают в начале серии показано, ясно, как дополнительные пластины перспективе, по данным компании. Контакт литографии использованием МРТ лучше всего подходит для резолюции от 5 мкм и 0,4 микрона, когда шаговый технологии окажутся расходы непомерно высоки, Суссе говорит. Типичные области применения включают устройства RE электроники, оптоэлектроники и плоского волновода.