Ibis технологии дебютов имплантере ионов кислорода для 200mm, 300mm КНИ пластин - Fab Line - Краткие статьи - Каталог объявлений

Кремний-на-изоляторе "(SOI) ОБОРУДОВАНИЕ И WAFER ПОСТАВЩИК Ibis технологии корпорации в последнее время развернута третьего поколения имплантере, i2000 ионов кислорода имплантере. Имплантере i2000 использует несколько пропускной связанных достижения, в том числе быстрее загружать и выгружать циклов быстрого нагрева пластин в рабочей камере и использования активного охлаждения, в соответствии с Ibis.

I2000 также имеет MagScan магнитного Ibis 'сканирующий луч технологии и упрощенные линии пучка. Инструмент имеет меньший след, чем его предшественник, Ibis 1000, но процесс камеры достаточно большим для обработки 20 200mm или 13 300-мм подложек в каждой партии, Ibis сказал.