Nikon заявляет, что его сканеры, степперы используется для изготовления 90-нм микросхемы - Fab Line - Краткие статьи

NIKON Корпорация недавно заявил, что микросхем используют сочетание его NSR-305B аргона фтора (АРФ) и NSR-204B криптона фтора (KrF) сканеры вместе с NSR-SF100 я-шаговые линии для производства функциональных микросхем с 90-нм черты. ИС были изготовлены 300-миллиметровые подложки. NSR-305B, второго поколения ArF сканера Никона, имеет 0,68 числовой апертурой (NA) и может обрабатывать до 78 300-мм подложек в час.

NSR-204B, четвертого поколения KrF сканер Nikon, также имеет 0,68 НС и процессов, как многие, как 80 300-мм подложек в час. NSR-SF100 сканирования области шаговых работает I-линии освещения в то время как соответствующий размер поля и пропускную способность сканеров Nikon сказал.