СОД вниз, но не исключено: Химическая фильмы осаждения паров вероятным победителем, но победа не гарантирована в боях за 0,13 узла, а снизу - Новости

Спин-на диэлектрические (СОД) фильмов, возможно, утратили основания для химического осаждения паров (ССЗ) фильмов в нынешнем поколении технологии, но борьба за доминирование на рынке далека от завершения.

Содс оказались сложнее, чем для интеграции сердечно-сосудистых заболеваний фильмов в текущем 0,13-микронного узел, однако, оба типа пленки крайне проблематично. В самом деле, большинство фишек скатывания потрясающий линий с 0,13-микронного транзисторы будут использовать фторсодержащие кремния стекла (ФСГ), сердечно-сосудистых заболеваний диэлектрических оставшихся от предыдущих поколений техники. FSG обладает более высокой диэлектрической постоянной - выше 3 - чем СОД и органо-стекла (ГОП) сердечно-сосудистых заболеваний фильмов в настоящее время на рынке.

Эта интеграция трудность вытеснили принятия низкой к фильмам одной или двух поколений. "Все компании, ... не могут справиться с ней. Низкого А самый большой материал изменения этой отрасли никогда не пытался делать", предложил Марк McClear, генеральный менеджер подразделения полупроводниковых материалов FAB на Dow Chemical, поставщик СОД фильмов.

"Каждый клиент, почти без исключения, имеет двойную стратегию", отметил Адриан Kiermasz, старший директор по интеграции в Лам исследований корпорации, поставщик травления и химико-механического инструмента планаризация.

Год назад казалось, что СОД фильмы могут быть с низким уровнем А продукты выбора, после заявления IBM о том, что он объединил SILK Dow Chemical в меди двойного Дамаскин структуры.

"Я думаю, причина того, что произошло то, что [SILK] стали более зрелыми быстрее", сказал Kiermasz. 'Там какая-то приемы нужно использовать для интеграции шелка. Это работает, и IBM и других компаний, показали, что, "сказал он.

Тем не менее, нынешний урожай ГОП фильмы сердечно-сосудистых заболеваний у к значениям около 2,8, которые являются конкурентоспособными хотя и выше, чем СОД фильмы и оба жестче и легче интегрироваться в общество. Это привело к несколько получивших широкую огласку переключается с СОД для сердечно-сосудистых заболеваний среди тех, кто хочет осуществлять низким А фильмы на 0,13 микрон, а именно с Организацией Объединенных микроэлектроники корпорации (UMC) перейти от шелка Novellus системы Корпорация 'с коралловым ОСГ сердечно-сосудистых заболеваний фильм .

"СОД, с точки зрения зрелости, отстала", сказал Навджот Chhabra, директор технология внутрисистемных соединений, в R

Но в течение последних 8 месяцев, интеграция СОД фильмов значительно улучшилась, Chhabra сказал. "Но на данный момент, ни один из них полностью созрели, добавил он.

0,13-микронного потенциал только начинает рампы. Так из немногих компаний, использующих низким А фильм, кроме FSG на 0,13 микрон, который имеет или в ближайшее время будет иметь чипы в объеме производства? McClear сказал, что как Fujitsu и Sony ООО Корпорация есть товары на рынке с шелком и IBM, что вскоре последуют. Kiermasz сказал, что США чипов в настоящее время выпуск продукции один из менее известных фильмов ОСГ сердечно-сосудистых заболеваний.

В дополнение к этим 3, Infineon Technologies AG, которая работает с IBM, UMC и Taiwan Semiconductor Manufacturing ООО (TSMC), также устройств с низким уровнем А материалы где-то между летчиком и объема производства, сказал Дин Фриман, главный аналитик Gartner Dataquest в Сан-Хосе. "Я верю, что можно купить устройства от них каким-то образом, или иной форме", сказал он.

TSMC, UMC и в настоящее время, используют сердечно-сосудистых заболеваний фильмов; TSMC использует прикладной. Материалы инк "S Black Diamond пленки.

Большой вопрос, стоящий перед промышленности теперь будет низким А фильмы будут готовы к 90-нм и 70nm узел, когда значения Ъ диэлектриков станет еще более критической? И, если они будут, они будут сердечно-сосудистых заболеваний или СОД фильмов или их комбинации?

Существующие ОСГ сердечно-сосудистых заболеваний фильмы, скорее всего, распространяется на 90-нм узел, и, возможно, 70nm узел, а некоторые, возможно, даже чипов нажмите FSG к 90-нм. За 90-нм, то можно только догадываться. Традиционно все время было то, что СОД фильмы будут наиболее легко расширяемой. Будучи мокрым фильмы, они более легко поддаются пористость, которые будут иметь ключевое значение для получения значения К до 2,0 и ниже.

"Вы будете видеть спин-на старте, чтобы взять на себя ниже 70nm", Фримен предложил. Хотя имеются некоторые свидетельства того, что сердечно-сосудистых заболеваний фильмы подошел ак значение 2 в R

"Слишком рано говорить о том, какая из них будет победить", сказал Chhabra Sematech в. Но три месяца назад, в направлении ее компаний-членов, Sematech решил сосредоточить свои усилия на разработке и интеграции низким А фильмы с ак значение 2,2 и ниже. Хотя Есть несколько потенциальных фильмы сердечно-сосудистых заболеваний, большая часть фильмов с к доступных значений в этом диапазоне СОД фильмов. "Очевидно, [] членов чувствовать себя комфортно с материалами, мы рассматриваем", Chhabra сказал.