Активизации FIB: Schlumberger Semiconductor Solutions усиливает инструмент редактирования функций - Капитал оборудование - компании "Шлюмберже" 1DS OptiFliB сфокусированный пучок ионов - продуктов Объявление

"Шлюмберже" с ООО "новейших сфокусированный пучок ионов (FIB), 1DS OptiFliB, интегрирует оптическая и ионного микроскопа в одном коаксиальной трубе, которая работает одновременно в ходе анализа схемы и редактирования после первого кремния.

Это одновременное снижение способности фрезерные время от нескольких часов до минут, в зависимости от полупроводникового оборудования компании "Шлюмберже" вспомогательных Schiumberger Semiconductor Solutions. OptiFIB можно изменить с передней или задней пластины, независимо от материала, используемого в IC стек с помощью встроенного микроскопа, сообщает компания.

Schiumberger надежды OptiFIB будет оживить снижение FIB инструмент рынка. Как раз цикла продукции сокращаются, многие чипов предпочитают не показывать время интенсивного редактирования схемы с помощью инструментов FIB после первого кремния, а сразу перейти на последующий набор маску и второй кремния. Несколько слоев металла с применением новых материалов, таких как диэлектрических пленок и кремний на изоляторе, оба из которых являются чувствительными к инвазивным заряженных частиц, передовые технологии упаковки, такие, как флип-чип, лишь усугубляет эту проблему.

"Вся ценность в редактировании FIB пытается имитировать то, что маски будут делать", сказал Тед Лундквист, датчик системы компании "Шлюмберже", менеджер по маркетингу. "Время, которое требуется также водитель ... Чтобы сохранить цикла миллионов долларов, маски можно легко заплатить за инструмент [FIB]," добавил он.

оптический микроскоп OptiFIB обеспечивает неинвазивный, тепловидения. Это позволяет использовать инструмент оптического конечных указывая в процессе размола, пропустив несколько традиционных шаги в FIB редактирования, такие как создание координатных траншей, в соответствии с "Шлюмберже". Это также служит для увеличения пропускной способности и точности, сообщает компания.

Лундквист заявил OptiFIB переходит на первый слой металла примерно 27 минут. В отличие от "всех наших клиентов опрошенных, в среднем составлял 8 часов, чтобы добраться до этой точки", сказал он.

Оптические изображения можно видеть сквозь низкой к диэлектрических материалов и кремний-на-изоляторе, а также кремния, что позволяет спинках редактирование схем, утверждает компания. "Будущее лежит через кремний", Лундквист отметил, добавив, что все сигналы чипа проходят через начальный слой металла.

Компания имеет патент на коаксиальный фотон / ионного микроскопа, используемые в колонке OptiFIB. Он использует Шварцшильда оптики, которые используются в астрономии приложений, а также в развитии крайней ультрафиолетовой литографии. В порту в сторону микроскопа столбец, ряд зеркал и оптики сфокусировать свет в том же столбце, используемые для ионного микроскопа.

"Шлюмберже" уже поставила несколько систем OptiFIB и в настоящее время принимает заказы на инструмент, который стоит около $ 1,5 млн. человек.