Tech, MEMS, выделите Europa - Новости - полупровод Europa выставки

Промышленности, могут восстанавливаться, но это выглядит медленного восстановления, мощностью покупает еще несколько кварталов прочь. В результате, технологии и поглощений, вероятно, будет на умы людей в полупроводниках в этом году Europa.

Если продукт объявлений выходит в преддверии ежегодного Европейского капитальное оборудование и технологии полупроводниковых выставке представленные полупроводникового оборудования и материалов International (SEMI) какие-либо указания, Европа не увидит новых средств столько, сколько она будет увидеть новые технологии для существующих платформах.

Так, например, данными в компании Axcelis технологий Инк на этой неделе публично обнародовал GDS Ultra и Ultra HC3 low-energy/high-current implanters ионов в ожидании Europa. Обновления данными в компании Axcelis '200mm и 300 мм low-energy/high-current implanters, Ultra инструменты функцию упрощения технического обслуживания доступа, новые технологии ионного пучка и новые multiwafer конце станции, сообщает компания.

Низкоэнергетические ионные пучки, используемые для мелких применения имплантатов перехода, могут быть объемными зарядами ионов, как заряды отталкиваются друг с другом, ослабление концентрации ионов. Данными в компании Axcelis сказал он смягчить это явление и сделал другие улучшения с линией пучка Ultra.

ионного пучка Ultra implanters 'функции электронного ограничения технологии, что снижает объемного заряда эффект и увеличивает ток пучка на целых 200 процентов, тем самым повышая пропускную способность и производительность. Ultra implanters также имеют возможность внедрять димерных соединений, а также, в отличие от типичных видов мономера мышьяка.

multiwafer Ultra в конце станции сокращает время между четырех имплантатов, уменьшение влияния на производительность от выполнения четырех имплантатов, все более широкое распространение среди своих клиентов, в соответствии с данными в компании Axcelis. Конец станции наклонить, не снимая, ориентации и перегрузки пластин. "Все, что мы должны сделать на нашем переместить наш диск. Существует без дополнительной обработки пластин", объяснил Джо Филлион, менеджер по продукции GDS Ultra.

В заднем конце, автоматизированная контрольно-измерительная аппаратура поставщиком грамоты системы корпорации обновил свой настольный Личный Калос тестер для удовлетворения растущего рынка к югу от 2V применения флэш-памяти (см. соответствующий рассказ на стр. 20.) Грамоты также сообщил данную новость на своем Новая система на прошлой неделе в преддверии Europa показать на этой неделе.

Спад приобретений также, несомненно, будет выделить обсуждения на этом шоу в Мюнхене, Германия. На прошлой неделе Asyst технологии Инк приобретать domainLogix корпорации (см. соответствующие рассказ на стр. 6) и приобретение МКС 'немецких передовых процесса управления программным обеспечением компании IPC.

Продолжается перекрестное опыление между полупроводниковой технологии процесса и microelectro-механических систем (MEMS) технология также будет выделить из Европы в этом году.

В начале этого месяца по инициативе Международного SEMI стандартов в программе Garching, Германия, Суссе MicroTec размещение руководство от производителей, R

Голландский литографии, отслеживать и термической обработки OEM ASML также вышла на рынок MEMS на прошлой неделе, объявив, что она выходит из серии I-шаговые линии для применения MEMS.