Asyst технологий новых фронтов FOUP с улучшенными пропускная способность - Fab Line - Краткие статьи

SYST ТЕХНОЛОГИИ вкл. выкатил IsoPort 300mm порту погрузки с улучшенной пропускной способности, сокращение времени с перевозчиком прибыли в первом доступа пластины до 8 секунд, сообщает компания. Передние IsoPort открытие единого пакетике (FOUP) также имеет точное сервоприводом движения, интеллектуальная конструкция отмычка и оптимизированы перевозчика зондирования, Asyst сказал.

IsoPort FOUP соответствует классу 1 ISO частиц уровень загрязнения, что исключает накопление заряда трибоэлектрический на перевозчика дверь на пути ламинарного течения в то время как в открытом положении, в соответствии с Fremont, Калифорния основе Asyst. IsoPort имеет факультативный газа чистку порты, которые обеспечивают инертных окружающей среды для вафель в перевозчиком на Ioadport и материалов, продукции устойчивы к коррозии химически активных газов процесса, Asyst сказал. IsoPort 300mm порту погрузки в настоящее время бета-тестирования сайта. Asyst сказал, что рассчитывает начать производство поставок в июле.