FSI показывает, CD контроля на 300mm фабрики - Fab Line - Международный FSI 3500 Микролитография Cluster - Краткие статьи - Каталог объявлений

<Р

> FSI International, Inc недавно заявил, что его 3500 Микролитография кластера продемонстрировал выше критического размера (CD) контроля за исполнением на клиентов высокого по объему 300mm фабрик. Системы Polaris обработаны 0,15-микронной плотной функции на 300-мм подложек использованием 248 нм источника облучения. Во время работы на производстве пропускная система достигнуто пластины к пластине единообразия менее 2.50nm, 3 сигма и по-пластины единообразия менее 5 нм, 3 сигма.