Veeco выкатывается ultraflat характеристика - Fab Line - Краткие статьи

S Veeco ИНСТРУМЕНТЫ вкл. 'METROL есте-ственно-подразделение представил ultraflat профилирования технологии для своей линии автоматизированной атомной профилей силы (AFP), характеризующие химико-механического планаризация (CMP) производительности процесса, в частности, плоскостность поверхности, на и за пределами 90-нм технологии узел, Компания говорит.

Ultraflat профилирования доступна в качестве опции для измерения Vx210 Veeco и измерение Vx330 AFP систем. Сочетает в себе новые возможности высокого разрешения, атомно-силовой профилирования технологии ultraflat патрон пластины вакуума частиц и сокращения оборудования, устранения присущих непланарности вызванных коробление пластины, стресс и задней загрязнения, в соответствии с Veeco.